[发明专利]一种准分子激光气配置装置的钝化方法有效
| 申请号： | 201110429412.3 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN102517540A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 陈平;赵克连;张智宏 | 申请（专利权）人： | 广东华南特种气体研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/08 | 分类号： | C23C8/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 528200 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于：其包括以下步骤，步骤一：钝化前处理：清理准分子激光气配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤二：钝化处理：在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤三：通入N2后密封，完成准分子激光气配置装置的钝化。使用分子量小扩散能力强的He气体替代了现有技术中N2，并且变化了钝化的温度条件，因此，氧化膜的形成稳定而且致密，因渗透程度的增加而坚韧牢固，有效的防治了金属基体的进一步腐蚀。配置的准分子激光器输出能量稳定，能量分布均匀。完全能满眼科手术激光治疗的要求，并且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 配置 装置 钝化 方法 | ||
【主权项】：
一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于：其包括以下步骤，步骤一：钝化前处理：清理准分子激光气配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤二：钝化处理：在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；步骤三：通入N2后密封，完成准分子激光气配置装置的钝化。
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