[发明专利]一种可排除清洗残留水的石英晶片清洗夹具的设计无效
| 申请号： | 201110425844.7 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN102489485A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李坡;高志祥 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及的是可进行清洗残留水排除的石英晶体清洗夹具，其特征是自上而上依次叠装电极板、中间定位板、下电极板、底框装磁铁层、底框下护板，在夹具底框上阵列分布着较磁铁尺寸大于限位孔的内孔径，上电极板和中间定位板对应的限位孔的四个角的部位各设有一个导流槽；导流槽贯穿底框装磁铁层、下电极板、中间定位板和上电极板，与限位孔四个角相交。优点：弥补了传统夹具和晶片一起清洗时在限位孔内残留有水的缺陷，可以在清洗后将限位孔内残留的水排除，避免了晶片和夹具一起清洗过程后残留水渍对晶片的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 排除 清洗 残留 石英 晶片 夹具 设计 | ||
【主权项】：
可进行清洗残留水排除的石英晶体清洗夹具，其特征是自上而上依次叠装电极板、中间定位板、下电极板、底框装磁铁层、底框下护板，在夹具底框上阵列分布着较磁铁尺寸大于限位孔的内孔径，上电极板和中间定位板对应的限位孔的四个角的部位各设有一个导流槽；导流槽贯穿底框装磁铁层、下电极板、中间定位板和上电极板，与限位孔四个角相交。
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