[发明专利]一种快速准确寻找单晶引晶埚位的方法无效
| 申请号： | 201110420186.2 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN102517629A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 牛冬梅;胡荣星 | 申请（专利权）人： | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 332005 江西省九江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种快速准确寻找单晶引晶埚位的方法，包括装料完成，合上炉盖炉体，将翻板阀盖上，同时打开副室炉门；将籽晶或细颈降下，直至籽晶或细颈刚触碰到翻板阀顶部的一个中心螺丝，此时把控制面板上的晶体位置清零，设为零位置A；晶体位置清零后，将籽晶上升到副室炉内，而后进行抽空检漏、三次升温加热化料；化料结束，及时开启埚转，上升埚位，下降功率，引晶前1-2小时，将籽晶分多次缓慢下降；引晶找温度前30-40分钟，将籽晶再次下降，直至下降到多炉拉过整棒时的晶体位置B；将晶体位置固定好后，将埚位缓慢上升，一直上升到液面刚好触碰到籽晶或细颈底部，此时即将埚位固定完好，埚位上升位为C，而后可将籽晶或细颈插入液面，进行引晶找温度。避免了肉眼注视液面距导流筒底部距离的不准确性，也避免了直接看埚位刻度尺因每炉次炉内硅料的不确定性。具有找位准确、稳定的特点，且操作简单、方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 准确 寻找 单晶引晶埚位 方法 | ||
【主权项】：
一种快速准确寻找单晶引晶埚位的方法，其特征在于，包括1）装料完成，合上炉盖炉体，将翻板阀盖上，同时打开副室炉门；2）将籽晶或细颈降下，直至籽晶或细颈刚触碰到翻板阀顶部的一个中心螺丝，此时把控制面板上的晶体位置清零，设为零位置A；3）晶体位置清零后，将籽晶上升到副室炉内，而后进行抽空检漏、三次升温加热化料；4）化料结束，及时开启埚转，上升埚位，下降功率，引晶前1‑2小时，将籽晶分多次缓慢下降；5）引晶找温度前30‑40分钟，将籽晶再次下降，直至下降到多炉拉过整棒时的晶体位置B；6）将晶体位置固定好后，将埚位缓慢上升，一直上升到液面刚好触碰到籽晶或细颈底部，此时即将埚位固定完好，埚位上升位为C，而后可将籽晶或细颈插入液面，进行引晶找温度。
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