[发明专利]一种激光间接冲击软模微成形方法及其专用装置

摘要

本发明公开一种激光间接冲击软模微成形方法及其专用装置，激光通过光学介质辐照在飞片上表面上，引起部分飞片的烧蚀并产生高温高压等离子体，等离子体继续吸收激光能量使得等离子体膨胀爆炸向飞片方向喷溅，驱动剩余飞片飞行一段距离后与弹性材料软模碰撞，使弹性材料软模发生形变；弹性材料软模将形变力作用在靶材工件上，使靶材工件在弹性材料软模及特置微模具的限制下发生塑性变形；避免了用激光或飞片直接冲击或撞击工件表面所引起的烧蚀或刻蚀现象，提高了工件质量，延长了模具寿命。

主权项

一种激光间接冲击软模微成形方法，其特征是包括如下步骤：1）由计算机（11）控制纳秒激光器（8）发出脉冲激光，激光经两反射镜和聚焦透镜后作用于成形系统（4），同时由计算机（11）控制三维移动平台（2）调整成形系统（4）的位置；2）激光通过成形系统（4）的光学介质（12）辐照在飞片（14）上表面上，引起部分飞片（14）的烧蚀并产生高温高压等离子体，等离子体继续吸收激光能量使得等离子体膨胀爆炸向飞片（14）方向喷溅，驱动剩余飞片（14）飞行一段距离后与弹性材料软模（16）碰撞，使弹性材料软模（16）发生形变；3）弹性材料软模（16）将形变力作用在靶材工件（17）上，使靶材工件（17）在弹性材料软模（16）及特置微模具（18）的限制下发生塑性变形。