[发明专利]氧化硅玻璃坩埚的制造方法

摘要

本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法，包括如下工序：向旋转的模具内供应氧化硅原料粉来形成坩埚形成形体；边旋转坩埚形成形体，边由内至外地减压并电弧加热，形成有底圆筒形的氧化硅玻璃坩埚，该坩埚包括透明层和含气泡层；对该坩埚的内面侧进行熔化，并且通过控制其转速，使其透明层表面附近残留的气泡集中到氧化硅玻璃层的径向外侧的透明层中；对该坩埚的内面侧电弧加热，并且通过控制其转速，使残留气泡的氧化硅玻璃层移动而暴露的透明层表面的无气泡层的一部分转移至径向外侧，以无气泡层覆盖集中气泡的区域。采用这种氧化硅玻璃坩埚的制造方法，在不需要磨削及研磨设备，且不影响生产率的条件下，使氧化硅玻璃坩埚的内面无气泡化。

主权项

一种氧化硅玻璃坩埚的制造方法，其特征在于：所述方法包括：(1)在旋转的模具内供应氧化硅原料粉，形成坩埚形成形体的工序；(2)一边旋转上述坩埚形成形体，一边以由内面至外面的方向进行减压并进行电弧加热，而形成具有内面侧的透明层及外面侧的含气泡层的、具有由底部及与该底部相连的壁部组成的有底圆筒形状的氧化硅玻璃坩埚的工序；(3)在通过电弧加热熔化上述氧化硅玻璃坩埚的内面侧的状态下，通过控制赋予该氧化硅玻璃坩埚的转速，使该氧化硅玻璃坩埚的上述透明层的表面附近的残留有气泡的氧化硅玻璃层集中到底部的径向外侧的透明层中的工序；(4)在通过电弧加热熔化上述氧化硅玻璃坩埚的内面侧的状态下，通过控制赋予该氧化硅玻璃坩埚的转速，将移动上述残留有气泡的氧化硅玻璃层而暴露的上述透明层表面的无气泡层的一部分移动至底部的径向外侧，利用该无气泡层覆盖气泡集中区域的工序。