[发明专利]真空传感器有效
| 申请号： | 201110391809.8 | 申请日： | 2011-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102494837A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张亚非;回兵;徐航;徐东;魏浩 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空传感器，包括表面绝缘的衬底以及设置在该衬底上的阳极和阴极微电极，该阳极和阴极微电极与各自的电极导线相连，且阴极上覆盖有一维纳米材料。本发明利用了一维纳米材料具有优异的场发射性能，在较低的直流电压下即可产生较大的电流，既安全又便于测量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 传感器 | ||
【主权项】：
一种真空传感器，包括表面绝缘的衬底以及设置在所述衬底上的阳极和阴极微电极，所述的阳极和阴极微电极与各自的电极导线相连，其特征在于所述的阴极上覆盖有一维纳米材料。
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