[发明专利]一种离子注入机自动建立源高真空的方法无效
| 申请号： | 201110390452.1 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN103137411A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杨亚兵 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/302 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机自动建立源高真空的方法，包括：检测源腔体是否高真空状态(1)、源高真空未建立(2)、检测通信和水电气是否正常(3)、关闭源氮气阀V50、源与束线的隔离阀V51、束线与靶室粗抽阀V53和源粗抽阀V46(4)、开启源干泵RP3(5)、源干泵RP3已启动完成，开启源粗抽阀V46(6)、源低规G15真空值低于1时开启源分子泵TP1(7)、源分子泵TP1加速完成(8)、源高规IG1除气(9)、除气完成并开启显示源的真空值(10)、源高真空建立成功(11)、状态错误(12)、提示错误进入手动模式(13)、源高真空建立失败(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 自动 建立 真空 方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入机自动建立源高真空的方法，包括：检测源腔体是否高真空状态(1)、源高真空未建立(2)、检测通信和水电气是否正常(3)、关闭源氮气阀V50、源与束线的隔离阀V51、束线与靶室粗抽阀V53和源粗抽阀V46(4)、开启源干泵RP3(5)、源干泵RP3已启动完成，开启源粗抽阀V46(6)、源低规G15真空值低于1时开启源分子泵TP1(7)、源分子泵TP1加速完成(8)、源高规IG1除气(9)、除气完成并开启显示源的真空值(10)、源高真空建立成功(11)、状态错误(12)、提示错误进入手动模式(13)、源高真空建立失败(14)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110390452.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
