[发明专利]一种光幕传感器联锁方法无效
| 申请号： | 201110390421.6 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN103135143A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 胡东京 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/20 | 分类号： | G01V8/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种光幕传感器联锁方法，包括：光幕传感器(1)，传感器联锁信号(2)，左片库门刹车(3)，左片库电梯刹车(4)，左片库门和电梯(5)，右片库门刹车(6)，右片库电梯刹车(7)，右片库门和电梯(8)，电脑主界面(9)。其特征在于，光幕传感器(1)检测到障碍物时发出传感器联锁信号(2)，自动使离子注入机的片库门和片库电梯停止一切动作，确保设备片库门不会压到障碍物(如未到位晶片)，防止片库门压坏未到位晶片，避免操作人员进行调试时造成身体的挤压伤害，同时发出警报至电脑主界面(9)显示。本发明提升设备的安全保护功能，可确保离子注入机本身安全，保护操作人员的身体安全，提高离子注入机的可靠性和安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 联锁 方法 | ||
【主权项】：
一种光幕传感器联锁方法，包括：光幕传感器(1)，传感器联锁信号(2)，左片库门刹车(3)，左片库电梯刹车(4)，左片库门和电梯(5)，右片库门刹车(6)，右片库电梯刹车(7)，右片库门和电梯(8)，电脑主界面(9)；光幕传感器(1)一旦触发，使离子注入机相应的片库门和电梯停止一切动作，防止片库门压坏障碍物，避免操作人员进行调试时造成身体的挤压伤害。
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