[发明专利]检查方法有效
| 申请号： | 201110376349.1 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN102564345A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 黄凤夏 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾红霞;彭会 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种检查方法。为了检查板，首先在板上设定测量区域，并且获取测量区域的基准数据和测量数据。然后，通过块单元建立多个特征块，以便包含测量区域中的预定形状；通过合并特征块中的重叠的特征块来建立合并块。此后，通过将与除合并块以外的特征块和/或合并块对应的基准数据和测量数据进行比较来获得变形度；以及补偿变形度，以便在目标测量区域中设定检查区域。因此，可正确地设定补偿了变形的检查区域。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 | ||
【主权项】：
一种检查方法，包括：在板上设定测量区域；获取所述测量区域的基准数据和测量数据；通过块单元建立多个特征块以便包含所述测量区域中的预定形状；通过合并所述特征块中的重叠的特征块来建立合并块；通过将与除所述合并块以外的所述特征块和/或所述合并块对应的基准数据和测量数据进行比较来获得变形度；以及补偿所述变形度，以便在目标测量区域中设定检查区域。
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