[发明专利]一种WO3-TiO2复合靶材及其制备方法无效
申请号: | 201110372849.8 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN103121838A | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 杨海涛;尚福亮;刘存奇;高玲;彭程万 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | C04B35/46 | 分类号: | C04B35/46;C04B35/622 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种WO3-TiO2复合靶材的制备方法。其特征是采用低成本的常压烧结工艺,不使用任何烧结助剂的条件下,制备出纯度高于99.9%,相对密度大于95%,抗弯强度大于60Mpa的WO3-TiO2复合靶材,该靶材特别适合用于制备WO3-TiO2复合薄膜,在光催化净化,气体传感,光电转换等领域有广泛的应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 wo sub tio 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种致密的WO3‑TiO2复合陶瓷靶材,其特征不添加任何烧结助剂而使该靶材烧结致密化,相对密度在95%以上。
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