[发明专利]一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置

摘要

本发明涉及进气装置，具体地说是一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置，安装在真空腔室上，包括第一、二回填分气板、回填分气管、进气法兰、短管对焊接管及密封紧固件，进气法兰安装在真空腔室上，短管对焊接管位于真空腔室外，回填分气管、第一、二回填分气板均位于真空腔室内，短管对焊接管的一端与回填分气管的一端通过进气法兰相连，短管对焊接管的另一端通过密封紧固件接有进气管路，回填分气管的另一端安装有第二回填分气板，其上设有第一回填分气板，第一、二回填分气板之间的空间为进气缓冲区。本发明可对回填气体起到缓冲作用，实现真空腔室内均匀回填气体，从而避免由于直接进气过快造成电池从载板滑落等状况。

主权项

一种大型板式PECVD设备真空腔室的迷宫进气装置，安装在真空腔室上，其特征在于：包括第一回填分气板(1)、第二回填分气板(2)、回填分气管(4)、进气法兰(5)、短管对焊接管(6)及密封紧固件(7)，其中进气法兰(5)安装在真空腔室上，所述短管对焊接管(6)位于真空腔室外，回填分气管(4)、第一回填分气板(1)及第二回填分气板(2)均位于真空腔室内，短管对焊接管(6)的一端与回填分气管(4)的一端通过进气法兰(5)相连，短管对焊接管(6)的另一端通过密封紧固件(7)接有进气管路，回填分气管(4)的另一端安装有第二回填分气板(2)，在第二回填分气板(2)上设有第一回填分气板(1)，第一回填分气板(1)与第二回填分气板(2)之间的空间为进气缓冲区。