[发明专利]一种可连续生长多层膜的防止母液残留的液相外延石墨舟有效

专利信息
申请号: 201110355330.9 申请日: 2011-11-10
公开(公告)号: CN102383190A 公开(公告)日: 2012-03-21
发明(设计)人: 孙常鸿;胡淑红;王奇伟;邓惠勇;邱锋;吕英飞;郭建华;戴宁 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: C30B19/06 分类号: C30B19/06
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种可连续生长多层膜并对每层膜均可防止母液残留的液相外延石墨舟,该石墨舟主要包括:底板、滑块、外壳、可转动衬底托件、转动轴。其特点是,滑块在底板上滑动过程中可自动控制可转动衬底托件的翻转与复位,从而能够在生长下一层薄膜之前,将生长上一层薄膜时残留的母液及时排除,防止母液残留而影响下一层膜的生长,提高多层膜样品的成品率的同时增大薄膜可用面积。
搜索关键词: 一种 连续 生长 多层 防止 母液 残留 外延 石墨
【主权项】:
一种可连续生长多层膜的防止母液残留的液相外延石墨舟,包括底板(1)、滑块(2)、外壳(3)、可转动衬底托件(4)、转动轴(5),其特征在于,底板(1)上开有可容母液流下的梯形槽(1‑1)、控制滑块(2)自由滑动的卡槽(1‑2)、安装转动轴(5)的圆孔(1‑3)、底板(1)的上表面梯形槽(1‑1)的上部安装可转动衬底托件(4)的“凹”字形孔(1‑4);滑块(2)边缘呈锯齿状结构,且开有多个用于放置母液的液槽(2‑1),滑块(2)可嵌在底板(1)上的卡槽(1‑2)内;底板(1)上加载滑块(2)后可在外壳(3)中自由滑动;外壳(3)底部(3‑1)开有母液收集槽(3‑4),顶部(3‑2)开有可观察液槽(2‑1)的条形槽(3‑5),末端设有挡板(3‑3);可转动衬底托件(4)呈近半圆柱形滚轮,其中一侧中部镂空以形成两个近1/4扁圆柱形挡板(4‑2),另一侧(4‑3)为实心,上部开有衬底槽(4‑1),圆心部分开有安装转动轴(5)的圆孔(4‑4),右端设置一个135°的棱角(4‑5);转动轴(5)安装在可转动衬底托件(4)的圆孔(4‑4)和底板(1)上的圆孔(1‑3)中,使可转动衬底托件(4)的上表面处于水平状态时,可置于底板“凹”字形孔(1‑4)内,且其上表面与底板“凹”字形孔(1‑4)密合;可转动衬底托件(4)的主体部分置于底板的梯形槽(1‑1)内,可绕转动轴(5)自由转动。
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