[发明专利]基于BeZnO的MSM结构的紫外光探测器及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于BeZnO的MSM结构的紫外光探测器，包括衬底及生长于衬底上的外延层，所述外延层包括应力缓冲层与设在应力缓冲层上的BeZnO掺杂层，所述BeZnO掺杂层上镀有叉指结构或者间隙结构的电极。本发明在衬底与BeZnO掺杂层之间插入应力缓冲层。若BeZnO掺杂层掺杂的合金薄膜与衬底晶格失配较大，在外延生长过程中会产生导致合金薄膜的晶格质量变差的应力，而应力缓冲层则可以释放应力，改善BeZnO掺杂层的质量。本发明BeZnO基MSM结构的紫外光探测器的BeZnO掺杂层是该日盲探测器件的核心。且，本发明的BeZnO掺杂层通过掺入其它金属元素（如镁），改善其合金的晶体质量，使截止波长达到280nm以下，可以探测近紫外到深紫外的范围，从而使BeZnO掺杂层吸收日盲区240nm~250nm及其以下的波长。

主权项

一种基于BeZnO的MSM结构的紫外光探测器，其特征在于：包括衬底（1）及生长于衬底（1）上的外延层，所述外延层包括应力缓冲层（2）与设在应力缓冲层（2）上的BeZnO掺杂层(3)，所述BeZnO掺杂层(3)上镀有叉指结构（5）或者间隙结构（6）的电极层（4）。