[发明专利]一种检测碲锌镉晶体沉淀物面密度的方法无效
| 申请号： | 201110354644.7 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN102507584A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 盛锋锋;崔晓攀;徐华莲;孙世文;杨建荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测碲锌镉晶体沉淀物面密度的方法。其方法是：使用腐蚀剂腐蚀碲锌镉晶体(111)B表面，在光学显微镜50倍放大倍数下，结合沉淀物腐蚀坑的形貌特征，通过扫描特定大小的视场内的沉淀物腐蚀坑数量来计算沉淀物面密度。本方法直接在晶体的表面进行沉淀物面密度统计，统计精度高，操作方便，仪器要求简单，解决了长久以来碲锌镉晶体沉淀物面密度的统计难题。这对研究碲锌镉晶体缺陷的特性，进而降低碲锌镉单晶和碲镉汞外延材料的缺陷密度具有实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 碲锌镉 晶体 沉淀物 密度 方法 | ||
【主权项】：
一种检测碲锌镉晶体沉淀物面密度的方法，其特征在于包括以下步骤：A.使用抛光机，去除碲锌镉晶体表面的切割损伤层，然后在碲锌镉晶体(111)B表面抛出光亮平滑的表面；B.使用腐蚀剂对碲锌镉晶体(111)B表面进行腐蚀，然后使用光学显微镜，聚焦到碲锌镉晶体(111)B表面，通过腐蚀坑的形貌特征辨认出沉淀物腐蚀坑；C.在光学显微镜50倍放大倍数的视场下，直线扫描碲锌镉晶体(111)B表面2mm×3cm的区域，统计视场中出现的沉淀物腐蚀坑数目，所得数目除以扫描面积2mm×3cm即得到一个面密度；D.选择3个或以上不同部位重复C步骤，得到多个面密度，取平均值即得到碲锌镉晶体的沉淀物面密度。
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