[发明专利]一种间接连接型音叉振动式微机械陀螺有效
| 申请号： | 201110351392.2 | 申请日： | 2011-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102506843A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 文永蓬;尚慧琳 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 刘朵朵 |
| 地址： | 200336 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种间接连接型音叉振动式微机械陀螺，该陀螺由第一基板及悬于其上方的第二基板组成，第一基板和第二基板通过四个锚点固定；第二基板包括对称的左结构和右结构以及连接左右两边的中间结构；所述左结构或右结构包括一个带驱动梳齿的驱动质量块、两个检测质量块以及四个驱动弹性梁，带有检测栅形可动栅极和检测可动梳齿的检测质量块位于驱动质量块的内部，通过一个检测弹性梁和驱动质量块连接；中间结构包括与驱动弹性梁相连的两个中间耦合质量块和通过四个锚点与中间耦合质量块相连的四个中间耦合弹性梁。本陀螺采用硅微加工技术制备，在大气环境下可获得较高灵敏度、较稳定的检测输出，可应用于复杂环境仍能保持较高精度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 间接 连接 音叉 振动 式微 机械 陀螺 | ||
【主权项】：
一种间接连接型音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：(a)该陀螺由第一基板(1)及悬于第一基板(1)上方的第二基板(2)组成，第一基板(1)和第二基板(2)通过四个锚点(3)固定；(b)所述第一基板(1)包括两组对称的检测栅形固定电极(4)、两个检测梳齿固定电极(5)、两组对称的驱动梳齿固定电极(6)，所述各固定电极通过电极锚点(7)固定；(c)第二基板(2)包括对称的左结构(8)和右结构以及连接左结构(8)和右结构的中间结构(16)；左结构(8)或右结构包括一个带驱动梳齿(9)的驱动质量块(10)、两个位于驱动质量块(10)内部的检测质量块(11)以及驱动质量块(10)外沿的驱动弹性梁(12)，所述检测质量块(11)包括检测栅形可动栅极(13)和检测可动梳齿(14)，并通过检测弹性梁(15)和驱动质量块(10)连接；中间结构(16)包括与驱动弹性梁(12)相连的两个中间耦合质量块(17)和通过四个锚点(3)与中间耦合质量块(17)相连的四个中间耦合弹性梁(18)。
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