[发明专利]功能元件及其制造方法、物理量传感器以及电子设备

摘要

功能元件及其制造方法、物理量传感器以及电子设备。本发明提供一种实现了高灵敏度化、制造效率的改善、低成本化、高可靠性化中的至少一个的功能元件、功能元件的制造方法、物理量传感器以及电子设备。本发明的功能元件(1)具有：绝缘基板(2)、可动部(33)、设置在可动部(33)上的可动电极指(361～365)、以及设置在绝缘基板(2)上且与可动电极指(361～365)相对地配置的固定电极指(381～388)，固定电极指(381～388)包含配置在可动电极指(361～365)的一侧的第1固定电极指(382、384、386、388)和配置在另一侧的第2固定电极指(381、383、385、387)，第1固定电极指与第2固定电极指相互离开地配置。

主权项

一种功能元件，其特征在于，该功能元件具有：绝缘基板；可动部；可动电极指，其设置在上述可动部上；以及固定电极指，其设置在上述绝缘基板上，并且与上述可动电极指相对地配置，上述固定电极指包含配置在上述可动电极指的一侧的第1固定电极指和配置在另一侧的第2固定电极指，上述第1固定电极指与上述第2固定电极指相互离开地配置。