[发明专利]用于测量具有垂直侧壁微结构的扫描隧道显微镜倾斜测量方法

摘要

本发明公开了一种用于测量具有垂直侧壁微结构的扫描隧道显微镜倾斜测量方法。它的步骤如下：1）将二维角度调整平台固定在二维微位移运动平台上，待测样品固定在二维角度调整平台之上；2）通过二维角度调整平台调节待测样品的倾斜角度，使待测样品绕Y轴的倾斜角为度，使用扫描隧道显微镜对待测样品进行测量并记录待测样品的形貌数据；3）再将二维角度调整平台调整为绕Y轴的倾斜角为-度，再次使用扫描隧道显微镜测量待测样品并记录待测样品的形貌数据；4）扫描结束后分别对两次扫描的形貌数据进行旋转矫正，将两次旋转矫正之后的形貌图像进行拼接。本发明使得扫描探针能够完整地探测到待测样品的垂直侧壁，实现其表面形貌的超精密测量。

主权项

1.一种用于测量具有垂直侧壁微结构的扫描隧道显微镜倾斜测量方法，其特征在于它的步骤如下：1)将二维角度调整平台(3)固定在二维微位移运动平台(4)上，待测样品(2)固定在二维角度调整平台(3)之上；2)通过二维角度调整平台(3)调节待测样品的倾斜角度，使待测样品绕Y轴的倾斜角为度，扫描隧道显微镜探针(1)置于待测样品上方，使用扫描隧道显微镜对待测样品进行扫描测量并记录待测样品的形貌数据；3)通过二维角度调整平台(3)调节待测样品的倾斜角度，使待测样品绕Y轴的倾斜角为度，再次使用扫描隧道显微镜扫描测量待测样品并记录待测样品的形貌数据；4)扫描结束后分别对两次扫描的形貌数据进行旋转矫正，再将两次旋转矫正之后的形貌图像进行拼接，即可准确测量出具有垂直侧壁微结构待测样品的表面形貌。