[发明专利]嵌入式PECVD载片器

摘要

本发明涉及一种载片器，具体地说是一种嵌入式PECVD载片器，属于太阳能电池镀膜技术领域。其包括正方形的框体，所述框体的边长与第一种规格的硅片载体器的边长相等，框体一面为第一正方形，另一面为第二正方形，两者在高度上形成台阶。所述第一正方形尺寸大于待加工硅片尺寸，且其四个角均加工成工艺圆角。所述第二正方形为镂空正方形。本发明省去了下镀膜方式需在载片器上面安装的挂钩；采用上镀膜方式，工艺气体直接在硅片的上表面产生沉积物，所以不会形成像下镀膜方式中挂钩对硅片遮挡而形成的镀膜瑕疵、改善了硅片的外观，提高了硅片的转化效率；涉及的嵌入式载片器加工性好，便于维护，对用户而言也降低了产品的维护成本。

主权项

嵌入式PECVD载片器，包括正方形的框体（1），其特征是：所述框体（1）的边长与第一种规格的硅片载体器的边长相等，框体（1）一面为第一正方形（2），另一面为第二正方形（3），两者在高度上形成台阶；且第一正方形（2）大于第二正方形（3）。