[发明专利]三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头有效
| 申请号： | 201110335066.2 | 申请日： | 2011-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN102494607A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李瑞君;范光照;程真英;苗晋伟;陶胜 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是在固定圆环的中央设置十字悬浮片，十字悬浮片中各悬臂是在臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片朝向筒体内的一侧平面上，处在十字悬浮片的中央位置处设置一中央平面反光镜，处在十字悬浮片的至少一个悬臂的臂端部位设置有悬臂平面反光镜；在十字悬浮片朝向筒体外的一侧平面上，扫描探针固定安装在十字悬浮片的中心，处在扫描探头最前端的测球固定安装在扫描探针的端部。本发明能够获得大量程、高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 纳米 接触 扫描 探头 中的 弹性 | ||
【主权项】：
三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是设置一固定圆环(8)，在所述固定圆环(8)的中央设置十字悬浮片(9)，所述十字悬浮片(9)中各悬臂是在臂端连接有悬臂簧片(10)，所述各悬臂簧片(10)的另一端与固定圆环(8)相连接，形成十字悬浮片(9)在固定圆环(8)中的悬浮结构；在所述十字悬浮片(9)朝向筒体内的一侧平面上，处在十字悬浮片(9)的中央位置处设置一中央平面反光镜(13a)，处在所述十字悬浮片(9)的至少一个悬臂的臂端部位设置有悬臂平面反光镜(13b)；在所述十字悬浮片(9)朝向筒体外的一侧平面上，扫描探针(11)固定安装在所述十字悬浮片(9)的中心，处在扫描探头最前端的测球(12)固定安装在扫描探针(11)的端部。
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