[发明专利]三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头

权利要求书

1.三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是设置一固定圆环(8)，在所述固定圆环(8)的中央设置十字悬浮片(9)，所述十字悬浮片(9)中各悬臂是在臂端连接有悬臂簧片(10)，所述各悬臂簧片(10)的另一端与固定圆环(8)相连接，形成十字悬浮片(9)在固定圆环(8)中的悬浮结构；在所述十字悬浮片(9)朝向筒体内的一侧平面上，处在十字悬浮片(9)的中央位置处设置一中央平面反光镜(13a)，处在所述十字悬浮片(9)的至少一个悬臂的臂端部位设置有悬臂平面反光镜(13b)；在所述十字悬浮片(9)朝向筒体外的一侧平面上，扫描探针(11)固定安装在所述十字悬浮片(9)的中心，处在扫描探头最前端的测球(12)固定安装在扫描探针(11)的端部。

2.根据权利要求1所述的三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是所述各悬臂簧片(9)与固定圆环(8)相连接的一端均匀分布在固定圆环(8)的圆周上。

3.根据权利要求1所述的三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是所述各悬臂簧片(9)与所在悬臂之间的夹角为锐角、钝角、直角或为180°角。

4.根据权利要求1所述的三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是在所述悬臂簧片(10)与悬臂之间，以及在所述悬臂簧片(10)与固定圆环(8)之间采用螺钉固定连接。

5.根据权利要求1所述的三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是在所述悬臂簧片(10)与悬臂之间，以及在所述悬臂簧片(10)与固定圆环(8)之间夹持一球体，形成悬臂簧片(10)与悬臂，以及悬臂簧片(10)与固定圆环(8)之间的点接触连接。

6.根据权利要求5所述三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是所述点接触连接是在所述悬臂簧片(10)与悬臂之间，以及在所述悬臂簧片(10)与固定圆环(8)之间的点接触位置处以粘胶粘接；或是在所述悬臂簧片(10)与悬臂之间，以及在所述悬臂簧片(10)与固定圆环(8)之间的点接触位置处设置一通孔，以通孔中贯穿的线绳对所述悬臂簧片(10)与悬臂，以及对所述悬臂簧片(10)与固定圆环(8)形成固定连接。

7.根据权利要求1所述的三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是所述悬臂簧片(10)是以铍青铜为材质。