[发明专利]用于制造薄膜太阳能电池的划线方法无效
申请号: | 201110330580.7 | 申请日: | 2011-10-20 |
公开(公告)号: | CN103066149A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 林信志;谢天宏 | 申请(专利权)人: | 太阳海科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 阚梓瑄;冯志云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于制造薄膜太阳能电池的划线方法,包括如下步骤:提供一具有若干个前电极和若干条P1线的基板,前电极和P1线上面设有光吸收层;分别测出第一条P1线与最后一条P1线之间前端处的宽度值和后端处的宽度值,再利用P1线的数量计算出能够避免若干条P2线与相应的P1线交叉情况下这些P2线各自应偏转的纠偏角度值,以各自纠偏角度在各条P1线的同一侧分别划线以形成这些P2线,将光吸收层分割成若干个光吸收单元;设置后电极层;以同样的方式划P3线,将后电极层划分成若干个后电极。本发明的方法能有效避免各P2、P3线与P1线之间的交叉,大幅度提高成品的良率。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 薄膜 太阳能电池 划线 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制造薄膜太阳能电池的划线方法,其特征在于,包括如下步骤:提供一基板,该基板上具有若干个前电极和若干条P1线,且所述若干个前电极和P1线上面设有光吸收层;分别测出第一条P1线与最后一条P1线之间前端处的宽度值和后端处的宽度值,划线机的控制器根据第一条P1线与最后一条P1线之间前端处的宽度值和后端处的宽度值、基板上所有P1线的数量计算出能够避免若干条P2线与相应的P1线交叉情况下这些P2线各自应偏转的纠偏角度值,然后控制划线机的各划线头分别偏转相应的纠偏角度并在各条P1线的同一左侧或者同一右侧分别作划线动作,以形成这些P2线,从而将所述光吸收层分割成若干个光吸收单元;在所述光吸收层的上表面设置后电极层,后电极层同时填充由于划分光吸收层的划线动作而形成的线槽;分别测出第一条P1线与最后一条P1线之间前端处的宽度值和后端处的宽度值,划线机的控制器根据第一条P1线与最后一条P1线之间前端处的宽度值和后端处的宽度值、基板上所有P1线的数量计算出能够避免若干条P3线与相应的P1线交叉情况下这些P3线各自应偏转的纠偏角度值,然后控制划线机的各划线头分别偏转相应的纠偏角度并在各条P2线的同一左侧或者同一右侧分别作划线动作,使这些P3线分别平行于相应的P1线、P2线,以将所述后电极层分割成若干个后电极,每条P3线在切割所述后电极层的同时,一并切割其下面的光吸收单元。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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