[发明专利]精密传动链光电测量机有效
申请号: | 201110307173.4 | 申请日: | 2011-10-11 |
公开(公告)号: | CN102353539A | 公开(公告)日: | 2012-02-15 |
发明(设计)人: | 许兴智;李国洪;高峰;王晓;张一钢;史淑华 | 申请(专利权)人: | 廊坊开发区莱格光电仪器有限公司 |
主分类号: | G01M13/02 | 分类号: | G01M13/02 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 宋敏 |
地址: | 065000 河北廊*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种精密传动链光电测量机,包括测量工作台,角位移输入、输出光栅测量系统,角位移输入、线位移输出光栅测量系统,直线微位移输入、输出光栅测量系统,安装误差检测系统和测量驱动控制系统;在上述测量工作台基台台面上装有相互平行的三组精密直线导轨机构,所述角位移输入、线位移输出光栅测量系统安装在第一直线导轨机构上;所述角位移输入、输出光栅测量系统安装在第二直线导轨机构上;所述直线微位移输入、输出光栅测量系统和安装误差检测系统安装在第三直线导轨机构上;所述测量驱动控制系统分别与角位移输入、线位移输出光栅测量系统和角位移输入、输出光栅测量系统电连接在一起。以实现用途广泛,测量精度高的目的。 | ||
搜索关键词: | 精密 传动链 光电 测量 | ||
【主权项】:
一种精密传动链光电测量机,包括测量工作台,角位移输入、输出光栅测量系统,角位移输入、线位移输出光栅测量系统,直线微位移输入、输出光栅测量系统,安装误差检测系统和测量驱动控制系统;其特征在于,在上述测量工作台基台台面上装有相互平行的三组精密直线导轨机构,所述角位移输入、线位移输出光栅测量系统安装在第一直线导轨机构上;所述角位移输入、输出光栅测量系统安装在第二直线导轨机构上;所述直线微位移输入、输出光栅测量系统和安装误差检测系统安装在第三直线导轨机构上;所述测量驱动控制系统分别与角位移输入、线位移输出光栅测量系统和角位移输入、输出光栅测量系统电连接在一起。
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