[发明专利]薄膜太阳能电池模组的制备方法及其设备

摘要

本发明涉及太阳能生产工艺和设备，尤其涉及以透明导电氧化物玻璃为基板的薄膜太阳能技术。薄膜太阳能电池模组的制备方法包括步骤：清洗透明导电氧化物玻璃基板；在透明导电氧化物膜层上进行半导体镀膜形成半导体膜层；在所述半导体膜层上使用划线装置进行三道划线P1、P2和P3，并形成相应的第一沟槽和第二沟槽,以及用于形成第三沟槽的预备层；进行背电极镀膜，形成背电极膜层，作退火热处理；使用水或溶剂除去所述预备层及和沉积在所述预备层上的背电极材料，从而在所述背电极膜层上形成第三沟槽；除边、外电导、层压夹胶封装、接线盒安装和测试。本发明方法制备的太阳能电池的有效电池面积和转换效率高、制备方法简单、成本低。

主权项

薄膜太阳能电池模组的制备方法，其特征在于包括步骤：（1）清洗透明导电氧化物玻璃基板；（2）在透明导电氧化物膜层上进行半导体镀膜，形成半导体膜层；（3）在所述半导体膜层上使用划线装置进行三道划线P1、P2和P3，并形成相应的第一沟槽和第二沟槽,以及用于形成第三沟槽的、可溶材料形成的预备层；（4）进行背电极镀膜，形成背电极膜层，作退火热处理；（5）使用水或其他溶剂除去所述预备层和沉积在所述预备层上的背电极材料，从而在所述背电极膜层上形成第三沟槽；（6）除边、外电导、层压夹胶封装、接线盒安装和测试。