[发明专利]溶液供应单元、清洁系统及其清洁方法无效

专利信息
申请号: 201110302941.7 申请日: 2011-09-30
公开(公告)号: CN103028564A 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 陈忠贤;唐于斌 申请(专利权)人: 金宝电子(中国)有限公司;金宝电子工业股份有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 张超
地址: 523850 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种溶液供应单元、清洁系统及其清洁方法,其中溶液供应单元包括:一容置槽体,该容置槽体容置有溶液于其中;一连接于该容置槽体的压力供应模块;一连接于该容置槽体的液体输出模块,该液体输出模块具有一管体、一设于该管体的控制阀及一设于该管体的末端的液体输出头;以及一设置于该容置槽体的检测模块。本发明的溶液供应单元可相当精准的针对应用面的需求输出所需要的清洁溶液的态样,并且具有相当高的稳定性;再者,本发明可利用检测模块监控清洁溶液的存量,以避免系统的误动作。
搜索关键词: 溶液 供应 单元 清洁 系统 及其 方法
【主权项】:
一种溶液供应单元,其特征在于,包括:一容置槽体,该容置槽体容置有溶液于其中;一连接于该容置槽体的压力供应模块;一连接于该容置槽体的液体输出模块,该液体输出模块具有一管体、一设于该管体的控制阀及一设于该管体的末端的液体输出头;以及一设置于该容置槽体的检测模块。
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