[发明专利]一种可降低自驱动Leidenfrost液滴临界温度的复合膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201110302105.9 | 申请日： | 2011-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN102423928A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 奉若涛;乌学东;赵文杰;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | B32B15/04 | 分类号： | B32B15/04;B32B15/20;B32B9/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种可降低自驱动Leidenfrost液滴临界温度的复合膜及其制备方法。采用线切割工艺在基底材料上切割形成锯齿形波纹化表面，然后利用磁控溅射技术在基底波纹化表面上溅射构建铝结构层，最后使用线性离子束混合磁控磁控溅射技术在铝结构层上制得含有金属过渡层的复合膜，所得复合膜表面可明显降低热表面上液滴自驱运动的Leidenfrost临界激发温度，因而可用于各种精密热控器件内表面，特别是要求在较低温度区间激发液滴自驱运动的场合，包括但不限于功能微流体、芯片分析、芯片合成实验室的流体运动温控表面修饰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 驱动 leidenfrost 临界温度 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种可降低自驱动Leidenfrost液滴临界温度的复合膜，该复合膜位于基底材料表面，其特征是：所述的基底材料表面采用切割工艺切割形成锯齿形波纹表面，所述的锯齿宽0.5mm～3mm，深0.1mm～0.5mm；所述的复合膜由位于该基底材料表面并且与该基底材料表面形状相配套、呈锯齿形波纹的铝膜，以及位于该铝膜表面并且与该铝膜形状相配套、呈锯齿形波纹的含金属过渡层的复合碳膜组成；所述的含金属过渡层的复合碳膜是采用磁控溅射在所述的铝膜表面沉积金属过渡膜的同时开启线性离子源并通入碳氢气体而形成的薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110302105.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
