[发明专利]具扩增背腔空间的微机电麦克风芯片无效
| 申请号： | 201110298514.6 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102387455A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 陈宏仁;丘冠动;王俊杰;许明莉 | 申请（专利权）人： | 美律电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 44248 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具扩增背腔空间的微机电麦克风芯片，其特征是，包括有：一基板，具有一主背腔室及一副背腔室，该副背腔室形成于该主背腔室侧面，且该主背腔室与该副背腔室之间连通；以及一振膜，悬设于该主背腔室上。本发明所述具扩增背腔空间的微机电麦克风芯片借由在基板上同时形成有主背腔室及副背腔室，不但扩增了现有微机电麦克风芯片的背腔空间，且并未因此加大微机电麦克风芯片的整体尺寸，也不需求搭配其他结构件来辅助，如此即可达成背腔扩增的结果，而使得此微机电麦克风芯片组设于微机电麦克当中时，展现出较佳的灵敏度，得到较佳的声学频率响应曲线。 | ||
| 搜索关键词： | 扩增 空间 微机 麦克风 芯片 | ||
【主权项】：
一种具扩增背腔空间的微机电麦克风芯片，其特征是，包括有：一基板，具有一主背腔室及一副背腔室，该副背腔室形成于该主背腔室侧面，且该主背腔室与该副背腔室之间连通；以及一振膜，悬设于该主背腔室上；其中，当该振膜接收外在声波而相对该些背腔室产生振动时，即可产生对应的一电子讯号以传输至与该微机电麦克风芯片电性连接的电子电路读取处理。
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