[发明专利]一种用于测量低波数拉曼信号的装置无效
| 申请号： | 201110283004.1 | 申请日： | 2011-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN102445273A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 谭平恒;韩文鹏;厉巧巧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01J3/44 | 分类号： | G01J3/44 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测量低波数拉曼信号的装置，包括：激发光源；体光栅带通滤光片，用于过滤掉激光的等离子线而纯化激光线；第一体光栅陷波滤光片，位于体光栅带通滤光片将激光反射后的光路上；显微物镜，用于将由第一体光栅陷波滤光片反射来的激光聚焦到样品上来激发拉曼光谱信号；第二体光栅陷波滤光片和第三体光栅陷波滤光片，位于样品拉曼信号光经显微物镜收集并穿过体光栅陷波滤光片之后的光路上；三个支撑底座；聚焦透镜，用于将由第三体光栅陷波滤光片透过来的拉曼信号汇聚入单光栅光谱仪的入口；以及单光栅光谱仪，用于收集拉曼信号。本发明可以用来探测小至5波数的拉曼光谱信号，将在研究材料的低频拉曼光谱方面发挥重要作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 低波数拉曼 信号 装置 | ||
【主权项】：
一种用于测量低波数拉曼信号的装置，其特征在于，该装置包括：激发光源(LS)；体光栅带通滤光片(VGBF)，位于激光光路上，用于过滤掉激光的等离子线而纯化激光线，同时将激发光源(LS)发出的激光反射到第一体光栅陷波滤光片(VG1)；第一体光栅陷波滤光片(VG1)，位于体光栅带通滤光片(VGBF)将激光反射后的光路上，将激光反射到显微物镜(OB1)；显微物镜(OB1)，用于将由第一体光栅陷波滤光片(VG1)反射来的激光聚焦到样品(SMP)上来激发拉曼光谱信号；第二体光栅陷波滤光片(VG2)和第三体光栅陷波滤光片(VG3)，位于样品拉曼信号光经显微物镜(OB1)收集并穿过体光栅陷波滤光片(VG1)之后的光路上；三个支撑底座(BS1、BS2和BS3)，分别用来固定第一体光栅陷波滤光片(VG1)、第二体光栅陷波滤光片(VG2)和第三体光栅陷波滤光片(VG3)；聚焦透镜(OB2)，用于将由第三体光栅陷波滤光片(VG3)透过来的拉曼信号汇聚入单光栅光谱仪(SPEC)的入口；以及单光栅光谱仪(SPEC)，用于收集拉曼信号。
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