[发明专利]压电元件、液滴喷射头、液滴喷射装置以及它们的制造方法有效
| 申请号： | 201110261695.5 | 申请日： | 2011-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN102416767A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 小岛力;平井荣树 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;B41J2/135;H01L41/08;H01L41/047;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 陈海红;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供可靠性提高了的压电元件、液滴喷射头、液滴喷射装置以及它们的制造方法。本发明所涉及的压电元件，包括：在第1面(16)具有凹部(14)的振动板(10)；形成于凹部(14)内的第1电极(20)；形成于振动板(10)以及第1电极(20)之上的压电体层(30)；和形成于压电体层(30)之上的第2电极(40)，第1电极(20)的上侧的面(21)构成与第1面(16)连续的平面。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 喷射 装置 以及 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电元件，其中，包括：振动板，其在第1面具有凹部；第1电极，其形成于所述凹部内；压电体层，其形成于所述振动板以及所述第1电极之上；和第2电极，其形成于所述压电体层之上，所述第1电极的上侧的面构成与所述第1面连续的平面。
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