[发明专利]一种液体喷头及其制造方法有效
申请号: | 201110254364.9 | 申请日: | 2011-08-31 |
公开(公告)号: | CN102950897A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 周毅;李越 | 申请(专利权)人: | 珠海纳思达电子科技有限公司 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/045 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 金辉 |
地址: | 519075 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种液体喷头及其制造方法,液体喷头包括:硅基板;设置在硅基板表面的液体腔室;设置在液体腔室内部一端固定在的硅基板上,另一端是活动端的压电元件;设置在硅基板上的供墨通道和与液体腔室连通的喷嘴孔;液体腔室由设置在硅基板表面上的多个液体腔室薄膜层形成。多个液体腔室薄膜层容易加工而且不易碎裂,在制造上一体成型,可以获得高效率、高精度、低成本的产品,从而可以用低成本来制造出高精度和高密度的喷嘴孔的一体成型喷墨头。 | ||
搜索关键词: | 一种 液体 喷头 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种液体喷头,包括:一个硅基板;设置在所述硅基板表面的液体腔室;设置在所述液体腔室内部一端固定在所述的硅基板上,另一端是活动端的压电元件;设置在所述硅基板上的供墨通道;和与所述液体腔室连通的喷嘴孔;其特征是,所述液体腔室由设置在所述硅基板表面上的多个液体腔室薄膜层形成。
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