[发明专利]用于真空室模块的狭缝阀

摘要

本发明涉及一种用于真空室模块的狭缝阀。具体而言，一种狭缝阀组件(100)设置为用于附连至真空室模块(65)以在闭合位置密封模块的壁部(104)中的槽开口(106)，以及在打开位置提供通过槽开口的通路。该阀组件包括可旋转的轴(108)，其在打开旋转位置与闭合旋转位置之间被旋转促动器(110)驱动。伸长的密封板(112)在轴的闭合旋转位置中在槽开口上抵靠模块壁部密封。至少一个臂部部件(118)使密封板与轴连接。臂部部件与轴一起旋转并且可枢转地附连到密封板上。密封板相对于臂部部件被偏置至铰接位置。

主权项

一种狭缝阀组件(100)，所述狭缝阀组件(100)设置为用于附连至真空室模块(65)以在所述阀组件的闭合位置密封所述模块的壁部(104)中的槽开口(106)，以及在所述阀组件的打开位置提供通过所述槽开口的通路，包括：可旋转的轴(108)，所述可旋转的轴(108)在打开旋转位置与闭合旋转之间被旋转促动器(110)驱动；伸长的密封板(112)，所述密封板(112)具有密封面(114)，所述密封面(114)设置为用于在所述轴的所述闭合旋转位置中在所述槽开口上抵靠所述模块壁部而密封；以及，至少一个臂部部件(118)，所述至少一个臂部部件(118)使所述密封板与所述轴可操作地连接，所述臂部部件被固定到所述轴上以便与所述轴一起旋转，并且所述臂部部件可枢转地附连到所述密封板上；其中，所述密封板相对于所述臂部部件被偏置至铰接位置，从而使得在所述轴朝所述闭合旋转位置旋转时，所述密封板的端部初始地接合所述模块壁部，并且所述密封板在所述轴继续旋转至所述闭合旋转位置时相对于所述模块壁部枢转到平行密封位置。