[发明专利]工业用机械

摘要

本发明提供一种工业用机械，该工业用机械是三维测量机(1)，其包括：沿着Z轴的立柱(221)以及支柱(225)；滑动件(223)，其能够在被设在该立柱与支柱之间的梁(222)上移动；杆件(224)，其能够沿着Z轴方向移动地被保持在滑动件上；温度检测传感器(226)以及温度检测部(32)，该温度检测传感器以及温度检测部用于对立柱(221)、支柱(225)、杆件(224)的各自的温度进行检测；偏移量算出部(33)，其根据上述的立柱(221)、支柱、杆件的各自的温度、表示上述的立柱、支柱、杆件的在基准温度条件下的位置关系的基准位置数据、上述的立柱、支柱、杆件的各自的热膨胀系数算出上述Z轴偏移量。

主权项

一种工业用机械，该工业用机械的特征在于，其包括：立柱以及支柱，该立柱以及支柱被沿着与台面正交的Z轴竖立设置；滑动件，其能够在被设在上述的立柱以及支柱之间的梁上移动；杆件，其能够沿着Z轴方向移动地被保持在上述滑动件上；温度检测部件，其用于对上述立柱、上述支柱、上述杆件的各自的温度进行检测；偏移量算出部件，其根据上述立柱、上述支柱、上述杆件的温度变化算出上述杆件的沿着Z轴方向的Z轴偏移量；上述偏移量算出部件根据上述立柱、上述支柱、上述杆件的被上述温度检测部件检测到的各自的温度、基准位置数据、校正系数算出上述Z轴偏移量，该基准位置数据表示上述立柱、上述支柱、上述杆件的在将上述立柱、上述支柱、上述杆件的温度设定为规定的基准温度的状态下的位置关系，该校正系数用于算出上述立柱、上述支柱、上述杆件的由温度变化引起的沿着Z轴方向的尺寸变动量。