[发明专利]压电驱动电容检测微固体模态陀螺有效
| 申请号： | 201110206937.0 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN102353370A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 吴校生;王铮;胡小骏;陈文元;张卫平;崔峰;刘武 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机电技术领域的压电驱动电容检测微固体模态陀螺，其中弹性微振子、参考振动感应电极、科氏力感应电极都是通过下表面固定，压电驱动电极位于弹性微振子上表面，和弹性微振子形成固定联结，参考振动感应电极、科氏力感应电极的侧壁和相邻方形弹性微振子侧壁之间有微小的间隙，形成参考振动检测和感应振动检测的极间距可变电容。本发明利用弹性微振子的两个兼并的特殊振动模态进行工作，具有高的抗冲击、抗震动能力；工作频率高，有利于增大微陀螺的测量带宽和降噪；封装的难度小，可靠性高，生产成本低；采用压电激励和电容检测，有利于提高参考振动的驱动力，同时也便于集成，易于批量化生产，也减小了寄生电阻或电容的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 驱动 电容 检测 固体 陀螺 | ||
【主权项】：
一种压电驱动电容检测微固体模态陀螺，包括：弹性微振子、压电驱动电极、参考振动感应电极、科氏力感应电极，其中弹性微振子、参考振动感应电极，科氏力感应电极都是通过下表面进行固定，它们都是相互独立的；压电驱动电极分布在弹性微振子上表面，和弹性微振子形成固定联结；参考振动感应电极、科氏力感应电极位于方形弹性微振子侧面，且它们的侧壁与弹性微振子的侧面之间有间隙。
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