[发明专利]直拉式单晶炉的可调托晶盘装置无效
申请号: | 201110201314.4 | 申请日: | 2011-07-13 |
公开(公告)号: | CN102260904A | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 周云龙;刘存华 | 申请(专利权)人: | 温州永泰电器有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 325604 浙江省乐清市柳*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置,它包副室、副室下法兰、托晶盘,托晶盘与摇臂连接,导向套焊接在副室下法兰侧面,导向套筋板与副室下法兰上平面、导向套焊接,导向套内安装弹簧,导向座安装在导向套上端,带外螺纹的连接销轴从下向上穿过摇臂定位孔、导向套、弹簧、导向座,用两个调节螺母锁定,摇臂与连接销轴采用台阶孔套接。它结构合理,设计巧妙,体积小,稍用力就可实现可调托晶盘下移,自动上移平稳。 | ||
搜索关键词: | 直拉式单晶炉 可调 托晶盘 装置 | ||
【主权项】:
一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置,它包副室(8)、副室下法兰(10)、托晶盘(2),其特征是:托晶盘(2)与摇臂(1)连接,导向套(3)焊接在副室下法兰(10)侧面,导向套筋板(7)与副室下法兰(10)上平面、导向套(3)焊接,导向套(3)内安装弹簧(9),导向座(4)安装在导向套(3)上端,带外螺纹的连接销轴(6)从下向上穿过摇臂(1)定位孔、导向套(3)、弹簧(9)、导向座(4),用两个调节螺母(5)锁定,摇臂(1)与连接销轴(6)采用台阶孔套接。
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