[发明专利]一种用于检测多种气体的复合传感器无效
| 申请号： | 201110197923.7 | 申请日： | 2011-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN102879439A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;侯成诚;闫学锋;周文;汪幸;刘明;谢常青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;G01N29/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于检测多种气体的复合传感器，该复合传感器包括一个声表面滤波器阵列、一个电化学单元和至少一个泵，其中声表面滤波器阵列、电化学单元和泵相互连接，构成串联结构的复合传感器或并联结构的复合传感器。本发明提供的用于检测多种气体的复合传感器，是将两种技术的传感器集成在同一个传感器上，实现了在同一个传感器上能够同时检测多种气体，并且避免了使用两个传感器检测环境气体的不便，而且集成后的两种传感器同使用一个电源，减少了传感器的重量，更便于携带。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 多种 气体 复合 传感器 | ||
【主权项】：
一种用于检测多种气体的复合传感器，其特征在于，该复合传感器包括一个声表面滤波器阵列、一个电化学单元和至少一个泵，其中声表面滤波器阵列、电化学单元和泵相互连接，构成串联结构的复合传感器或并联结构的复合传感器。
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