[发明专利]抛光装置

摘要

一种抛光装置，用于抛光至少一个工件，该工件具有一个平面的待抛光面。抛光装置包括一个承靠座、一个横向驱动装置、一个具有第一转轴的抛光片座、一个座体驱动装置、多个围绕第一转轴连接至抛光片座的驱动装置及多个具有不同粗糙度的圆柱状抛光片。承靠座用于承靠工件且待抛光面背对承靠座。各抛光片具有平行于第一转轴的第二转轴。座体驱动装置用于驱动抛光片座绕第一转轴旋转，以使多个抛光片轮流与待抛光面接触。各驱动装置用于在对应的抛光片与待抛光面接触时驱动该抛光片绕其第二转轴旋转以进行抛光。横向驱动装置用于驱动抛光片座沿垂直于第一转轴的方向在该待抛光面上移动。如此，各抛光片可在座体驱动装置的驱动下交替抛光待抛光面。

主权项

一种抛光装置，用于抛光一个工件，该工件具有一个平面的待抛光面；该抛光装置包括一个支架及一个用于承靠工件的第一承靠座，该待抛光面背对该第一承靠座；其特征在于，该抛光装置还包括：一个连接至支架的横向驱动装置；一个连接至该横向驱动装置并且具有一个第一转轴的抛光片座，该第一转轴平行于待抛光面；一个连接至该横向驱动装置及该抛光片座的座体驱动装置；多个连接至该抛光片座并且围绕该第一转轴排布的抛光驱动装置；及多个具有不同粗糙度的圆柱状抛光片，各抛光片具有一个平行于该第一转轴的第二转轴；该座体驱动装置用于驱动该抛光片座绕该第一转轴旋转，以使该多个抛光片轮流与该待抛光面接触；各驱动装置用于在对应一个抛光片与该待抛光面接触时驱动该抛光片绕其第二转轴旋转以进行抛光；该横向驱动装置用于驱动该抛光片座沿垂直于该第一转轴的方向在该该待抛光面上移动。