[发明专利]SiC晶体生长炉测温窗有效
| 申请号： | 201110183818.8 | 申请日： | 2011-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN102337592A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李斌;王花;赵付超;周立平;王英民;高德平;毛开礼;徐伟;田牧;张蕾;乔卿;赵琳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00;G01J5/00 |
| 代理公司： | 山西科贝律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种SiC晶体生长炉测温窗，解决了现有SiC晶体生长炉的观察窗容易被遮蔽的问题。包括炉体（1），与炉体（1）的底座（2）固定连接的法兰（3），在法兰（3）的中央设置有与炉体（1）的内部连通的测温窗孔，在测温窗孔上固定连接有夹层连接管（4），在夹层连接管（4）的外层管壁上连有进气管（5），在夹层连接管（4）的内层管壁（6）上沿内层管壁间隔地并与水平面平行地设置有一圈小进气孔（12），夹层连接管（4）的下端与观察窗玻璃（8）固定连接在一起，在夹层连接管（4）的下端的观察窗玻璃（8）的下方设置有红外测温头（10）。本发明的有益效果是，结构简单，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | sic 晶体生长 测温 | ||
【主权项】：
一种SiC晶体生长炉测温窗,包括炉体（1），与炉体（1）的底座（2）固定连接的法兰（3），在法兰（3）的中央设置有与炉体（1）的内部连通的测温窗孔，其特征在于，在所述的测温窗孔上固定连接有夹层连接管（4），在夹层连接管（4）的外层管壁上连有进气管（5），在夹层连接管（4）的内层管壁（6）上沿内层管壁间隔地并与水平面平行地设置有一圈小进气孔（12），夹层连接管（4）的下端与观察窗玻璃（8）固定连接在一起，夹层连接管（4）的内层管壁与夹层连接管（4）的外层管壁组成一封闭空间，在夹层连接管（4）的下端的观察窗玻璃（8）的下方设置有红外测温头（10）。
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