[发明专利]一种解决MOCVD机台灯丝翘起变形的方法有效
| 申请号： | 201110180924.0 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102268654A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 彭昀鹏 | 申请（专利权）人： | 上海蓝光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种解决MOCVD机台反应腔内的灯丝翘起变形的方法，采用对MOCVD机台反应腔内的温度进行控制，具体包括以下步骤：1）预热；2）1000℃以上的高温烘烤；3）变温烘烤。采用本发明后，灯丝的翘变程度明显减小，并且在之后的正常生产过程中，每次生产之后变形幅度都变小，直至完全恢复正常形状。恢复正常后灯丝翘变将不再会反复出现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解决 mocvd 机台 灯丝 翘起 变形 方法 | ||
【主权项】：
一种解决MOCVD机台反应腔内的灯丝翘起变形的方法，其特征在于：采用对MOCVD机台反应腔内的温度进行控制，具体包括以下步骤：1)预热；2)1000℃以上的高温烘烤；3)变温烘烤。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
