[发明专利]一种用凝胶注模成型制备AZO靶材的方法

摘要

一种用凝胶注模成型制备AZO靶材的方法，属于溅射ZnO基薄膜用的AZO靶材的制备方法。凝胶注模成型制备AZO靶材的方法，包括以下步骤：称取氧化锌铝粉体与预混液，加入分散剂进行混合，混合后得到成型浆料，将引发剂、催化剂均匀加入浆料中后，倒入模具，在一定温度下进行固化，固化后将生坯放入有机溶剂中进行排胶，排胶后在一定温度下进行干燥得到素坯；按一定烧结制度烧结得到烧结样品；加工后得到AZO靶材制品；该方法制备AZO陶瓷靶材设备要求简单、成型方便快捷、成型样品强度高、经济性与实用性好。该方法制备的靶材成分分布均匀、密度高，可提高AZO靶材的使用性能。

主权项

一种用凝胶注模成型制备AZO靶材的方法，其特征在于：凝胶注模成型制备AZO靶材的方法，包括以下步骤：称取氧化锌铝粉体与预混液，加入分散剂进行混合，混合后得到成型浆料，将引发剂、催化剂均匀加入浆料中后，倒入模具，在一定温度下进行固化，固化后将生坯放入有机溶剂中进行排胶，排胶后在一定温度下进行干燥得到素坯；按一定烧结制度烧结得到烧结样品；加工后得到AZO靶材制品；所述的氧化锌铝粉体为含氧化锌与氧化铝的粉体，或者含氧化锌与铝的粉体，氧化锌所占质量分数为90.0～99.9％，其余为氧化铝或者为铝；所述的预混液为单体、交联剂的混合水溶液，单体可以为丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、甲氧基‑聚甲基丙烯酸、甲基丙烯酸中的一种，所用的交联剂可以为N，N′‑亚甲基双丙烯酰胺、聚二甲基丙烯酸中的一种；预混液中单体的含量占预混液质量分数为5～20％，交联剂占预混液质量分数为1～15％，其中交联剂的含量小于单体的含量；所述将预混液、氧化锌铝粉体进行混合时，氧化锌铝粉体占浆料体积分数25～60％；分散剂占浆料的质量分数为0～5％，混合采用球磨方式，球磨时间为0.5～48h；所述的球磨后的成型浆料加入的引发剂可以为过硫酸铵、过硫酸钾、双氧水或盐酸偶氮中的一种；所述的催化剂可以为四甲基乙二胺；加入引发剂与催化剂后进行固化，固化温度为20～150℃；所述固化后样品在有机溶液中进行排胶，有机溶液可以为聚乙二醇、乙醇中的一种或者是它们的任意比混合物，排胶时间为4～48h；所述排胶后生坯进行干燥温度为20～200℃；所述干燥后坯体进行烧结，烧结温度为1300～1600℃。