[发明专利]腔式石墨舟有效
申请号: | 201110082405.0 | 申请日: | 2011-04-01 |
公开(公告)号: | CN102181846A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 张志勇 | 申请(专利权)人: | 石金精密科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种腔式石墨舟,包括舟片、位于石墨舟左右两端的左、右电极,舟片包括与左电极导电连接的左电极片以及与右电极导电连接的右电极片。本发明通过将石墨舟的两电极设置在石墨舟的左右两端,改变现有的石墨舟的电极结构,各舟片相应分为与左电极连接的左电极片以及与右电极连接的右电极片,使得石墨舟工作时反应速度快,镀膜时间短,而且石墨舟的舟片数可以增加至21到41片,同时还在石墨舟的石墨隔块上设置用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数的舟号柱,使得石墨舟更加智能化;另外石墨舟的支撑脚可以固定在运转小车上,提高了石墨舟的使用安全性,因此,本发明不仅结构新颖,安全可靠,而且极大的提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 石墨 | ||
【主权项】:
一种腔式石墨舟,包括舟片,其特征在于,还包括:位于所述石墨舟左右两端的左、右电极,所述舟片包括与所述左电极导电连接的左电极片以及与所述右电极导电连接的右电极片。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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