[发明专利]用于测试激光设备的方法

摘要

本发明涉及一种用于测试激光设备（10）的方法，激光设备（10）被设置来发射聚焦的脉冲式的激光辐射，激光辐射的焦点位置（18）沿激光辐射的传播方向以及横穿激光辐射的传播方向可调节。该激光设备包括对激光辐射透明的具有邻接面（34）接触元件（30），在邻接面（34）放置待治疗的对象。在该方法的过程中，将在至少一个加工区域内对激光辐射透明的测试对象（36）放置成抵靠接触元件的邻接面。然后，将激光辐射照射到抵靠邻接面上的测试对象内，在该过程中，焦点位置根据预定的测试图案移动，以便在测试对象内产生永久的加工结构。

主权项

一种用于测试激光设备（10）的方法，所述激光设备（10）被设置来发射脉冲式的聚焦的激光辐射，所述激光辐射的焦点位置（18）沿所述激光辐射的传播方向和横穿所述激光辐射的传播方向可调节，所述激光设备示出对所述激光辐射透明的接触元件（30），所述接触元件（30）具有用于邻接待加工对象的邻接面（34），所述方法包括下列步骤：在所述邻接面上施加至少在加工区域内对所述激光辐射透明的测试对象（36）；将所述激光辐射照射到抵靠所述邻接面的所述测试对象内，并且在此过程中，根据预定的测试图案移动所述焦点位置，以在所述测试对象内产生持久的加工结构（44、46、50、52）。