[发明专利]臭氧气体供给系统

摘要

本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。

主权项

一种臭氧气体供给系统(10)，对气体流量、浓度进行控制，以将臭氧气体分别供给至多个臭氧处理装置，其特征在于，包括多个臭氧发生单元(7‑1～7‑n)，所述多个臭氧发生单元包括：臭氧发生器(1)，该臭氧发生器(1)产生臭氧气体；臭氧电源(2)，该臭氧电源(2)对供给至所述臭氧发生器的电力进行控制；质量流量控制器(MFC)(3)，该质量流量控制器(3)对输入至所述臭氧发生器的原料气体流量(Q)进行控制；自动压力控制器(APC)(4)，该自动压力控制器(4)对所述臭氧发生器内的压力即内部压力进行自动控制；臭氧浓度计(5)，该臭氧浓度计(5)对所述臭氧发生器输出的臭氧气体的臭氧浓度值进行检测；以及臭氧控制部(19)，该臭氧控制部(19)以规定的设定电力量(Ws)使所述臭氧电源驱动来作为初始动作，在经过规定时间之后，基于由所述臭氧浓度计检测出的臭氧浓度(C)与设定的臭氧浓度(Cs)的比较，对所述臭氧电源所供给的电力进行PID控制，所述臭氧气体供给系统还包括：臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自所述多个臭氧发生单元内的多个所述臭氧发生器的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将所述多个臭氧气体输出的一个或多个的组合选择地输出至所述多个臭氧处理装置中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制；以及臭氧气体输出流量管理单元控制部(8)，该臭氧气体输出流量管理单元控制部(8)基于来自所述多个臭氧处理装置的处理臭氧气体事件信号(16)，对所述多个臭氧发生单元各自的所述臭氧气体的输出情况进行控制，并对所述臭氧气体输出流量管理单元进行所述臭氧气体输出流量控制。