[发明专利]借助傅里叶滤光和图像比较的掩模检查

摘要

具有傅里叶滤光和图像比较的掩模检查系统可以包括第一检测器、动态傅里叶滤光片、控制器和第二检测器。第一检测器可以位于检查系统的傅里叶平面处且可以检测由掩模的区域所产生的图案化的光的第一部分。可以基于图案化的光的所检测的第一部分由控制器控制动态傅里叶滤光片。第二检测器可以检测由掩模的所述部分所产生的且透射穿过动态傅里叶滤光片的图案化的光的第二部分。另外，掩模检查系统可以包括数据分析装置，用于比较图案化的光的第二部分与另一图案化的光。因此，掩模检查系统能够更加精确地且以更高分辨率检测在掩模的区域上的任何可能的缺陷。

主权项

一种系统，包括：第一检测器，定位在傅里叶平面处且配置成检测由掩模的一部分产生的图案化的光的第一部分；动态傅里叶滤光片；控制器，配置成基于所述图案化的光的第一部分控制所述动态傅里叶滤光片；第二检测器，配置成在由所述掩模的所述部分产生的图案化的光的第二部分透射穿过所述动态傅里叶滤光片之后检测所述第二部分；和数据分析装置，配置成将所述图案化的光的第二部分与另一图案化的光进行比较。