[发明专利]微机械角速度传感器有效
| 申请号： | 201080014785.8 | 申请日： | 2010-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102365524A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 安斯·布卢姆奎斯特 | 申请（专利权）人： | VTI技术有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 褚海英;武玉琴 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机械谐振器，其包括两个质量块，所述两个质量块沿共同轴的方向通过弹性结构而耦合，所述弹性结构包括用于将连接至质量块的至少第一杆与沿运动轴方向延伸的第二杆耦合的弹簧，所述弹簧布置成沿垂直于运动轴的运动方向的方向弯曲。本发明还涉及一种微机械谐振器阵列、传感器和导航设备。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 角速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种微机械谐振器，其包括：两个质量块(M1，M2)，所述两个质量块沿它们的运动的共同运动轴的方向通过弹性结构(401、402、403、404a、404b、404c)而耦合，所述弹性结构包括用于至少将连接至所述质量块的特定第一杆与沿所述运动轴方向延伸的特定第二杆耦合的弹簧(404a、404b、404c)，所述弹簧布置成沿垂直于所述运动轴的运动方向的方向弯曲。
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