[发明专利]一种偏振分辨的差分反射谱测量系统无效
申请号: | 201010596245.7 | 申请日: | 2010-12-20 |
公开(公告)号: | CN102095689A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 申超;朱汇;吴昊 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01N21/21 | 分类号: | G01N21/21;G01N21/47 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种偏振分辨的差分反射谱测量系统,包括:一液氮杜瓦;一手动三维平移台;一消色差透镜;一激震器用于周期性震动透镜;一宽波段四分之一波长波片;一双输出格兰泰勒棱镜;一宽波段线偏振片以及一宽波长二分之一波长波片;一单色仪;一超连续白光光源;一探测器;两台锁相放大器;以及一斩波。利用本发明,通过配备低温杜瓦,可以测量样品在77K至300K之间的偏振分辨差分反射谱,从而可以进一步研究分析物质与自旋相关的能带结构和特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 偏振 分辨 反射 测量 系统 | ||
【主权项】:
一种偏振分辨的差分反射谱测量系统,其特征在于,该系统包括:一液氮杜瓦,用于放置样品和使样品达到液氮温度;一手动三维平移台,包括一手动旋转台以及一俯仰台,用于放置液氮杜瓦以及调节液氮杜瓦的空间位置;一消色差透镜,用于聚焦入射光到样品,并收集样品的反射光;一激振器,包括周期性振动透镜,通过改变透镜位置得到位置周期性变化的入射光,并为锁相放大器提供参考信号,使发射光产生周期性变化;一宽波段的四分之一波长波片,用于使得通过的线偏振光变为圆偏振光,并将从样品上反射回的圆偏振光变为线偏振光;一双窗口的格兰泰勒棱镜,用于将入射光分解为o光和e光两束偏振方向垂直的线偏振光,并使得经过样品反射以及宽波段的四分之一波长波片的而成为线偏振光的反射光进入探测器;一探测器,用于接收和探测反射光;两锁相放大器,用于读出反射光的光强强度以及随激振器振动周期变化的大小;一超连续白光光源,用于得到准连续的光谱;一单色仪,用于得到需要波长的单色光,并对波长进行扫描;一斩波,用于得到周期性的入射光信号,并为锁相放大器提供参考信号,从而得到入射光相对光强。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所,未经中国科学院半导体研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201010596245.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。