[发明专利]一种大流量高纯液化气体的输送方法无效
| 申请号： | 201010596149.2 | 申请日： | 2010-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN102109090A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李东升;张敏;龚小雷 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大流量高纯液化气体的输送方法，包括液化气体储存模块、增压模块、液化气体输送管道、蒸发器和调压模块，所述方法依次包括如下步骤：从液化气体储存模块引出液化气体，使其进入增压模块；由增压模块打出液化气体，并通过液化气体输送管道将液化气体输送到蒸发器；在蒸发器中对液化气体汽化加热；加热后的过热液化气体经过调压模块，使其压力降低到工艺需求后输送至所需机台。本发明提供的大流量高纯液化气体的输送方法，由增压模块打出液化气体，并通过液化气体输送管道将液化气体输送到蒸发器，采用蒸发器在液化气体储存模块外对液化气体汽化加热，避免直接加热液化气体储存模块和长距离的输送液体，且满足高纯、大流量的气体输送要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流量 高纯 液化 气体 输送 方法 | ||
【主权项】：
一种大流量高纯液化气体的输送方法，包括液化气体储存模块（1）、增压模块（3）、液化气体输送管道（4）、蒸发器（5）和调压模块（6），其特征在于，所述方法依次包括如下步骤：从液化气体储存模块（1）引出液化气体，使其进入增压模块（3）； 由增压模块（3）打出液化气体，并通过液化气体输送管道（4）输送到蒸发器（5）；在蒸发器（5）中对液化气体汽化加热；加热后的过热液化气体经过调压模块（6），使其压力降低到工艺需求后输送至所需机台。
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