[发明专利]可兼顾分辨力和量程的激光差动共焦theta扫描检测方法

摘要

本发明属于表面微细结构测量技术领域，涉及一种可兼顾分辨力和量程的激光差动共焦theta扫描检测方法。该方法采用共焦theta显微术的光路布置对被测样品进行扫描测量，将物镜的光瞳面分割为照明光瞳和收集光瞳，入射光束透过照明光瞳后被物镜会聚到被测表面，载有被测样品信息的反射光经过收集光瞳后，被聚光镜会聚于探测面上，在探测焦面上离轴设置两个区域，测得这两个区域的响应并得出探测器响应特性方程，依据曲线在线性区间内的强度大小，或强度为零的位置，重构出被测样品的表面形貌和微观尺度。该方法结构简单，可有效兼顾分辨能力与量程范围，实现物体表面形貌和三维微细结构等的光学高分辨绝对测量。

主权项

1.可兼顾分辨力和量程的激光差动共焦theta扫描检测方法，采用共焦theta显微术的光路布置对被测样品进行扫描测量，将物镜的光瞳面分割为照明光瞳和收集光瞳，入射光束透过照明光瞳后被物镜会聚到被测表面，载有被测样品信息的反射光经过收集光瞳后，被会聚物镜会聚到探测面上，其特征在于：(1)在探测焦面上相对x_d轴偏移C处设置两个微小区域，测得这两个区域的响应分别为I₁(z，-C)和I₂(z，C)，其中，z为被测样品的轴向位移，C为微小探测区域中心相对x_d轴的偏移量；(2)依据响应，得出传感技术特性方程：(3)依据曲线I_DCTS(z，C)在线性区间内的信号大小，或依据曲线I_DCTS(z，C)零点的位置，重构出被测样品的表面形貌和微观尺度。