[发明专利]气浮结构无效
| 申请号： | 201010508116.8 | 申请日： | 2010-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102444670A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 王茜 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种气浮结构，包括基座、龙门滑块、L形滑块、横梁、第一导轨和第二导轨。第二导轨与第一导轨相互平行并固定安装在基座上。龙门滑块滑动地安装在第一导轨上，L形滑块滑动地安装在第二导轨上。横梁，连接龙门滑块和L形滑块。龙门滑块与第一导轨之间、L形滑块与第二导轨之间均设有气浮块和真空块。通过横梁传递龙门滑块对第一导轨施加垂直于第一导轨的力和L形滑块对第二导轨施加垂直于第二导轨的力。本发明通过调节龙门滑块和L形滑块上的气浮块和真空块，可以使龙门滑块与第一导轨、L形滑块与第二导轨间达到最佳气膜厚度，气浮结构侧向刚度达到最大，性能达到最佳。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 | ||
【主权项】：
一种气浮结构，其特征是，包括：基座；第一导轨，固定安装在所述基座上；第二导轨，与所述第一导轨相互平行，并固定安装在所述基座上；龙门滑块，滑动地安装在所述第一导轨上，L形滑块，滑动地安装在所述第二导轨上；以及横梁，连接所述龙门滑块和所述L形滑块；所述龙门滑块与所述第一导轨之间、所述L形滑块与所述第二导轨之间均设有气浮块和真空块；通过所述横梁传递所述龙门滑块对所述第一导轨施加的垂直于所述第一导轨的力和所述L形滑块对所述第二导轨施加的垂直于所述第二导轨的力。
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