[发明专利]静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台

摘要

提供高精度的静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台，通过构成节流孔、通气槽等，使得加压气体在通气路径的全体区域维持层流状态，从而防止振动的发生。在静压轴承装置中，为了使加压气体在通气路径的全体区域能够维持层流状态而设计了节流孔(14)、通气槽以及排气槽(12)的形状等结构，通气槽宽度方向的截面形状形成为朝向离开滑动面(10a)的方向突出的曲线，另外，通气槽包括：环状槽(11b)，其围绕节流孔(14)形成为环状；多个分配槽(11a)，它们以节流孔(14)为中心朝向环状槽(11b)以放射状延伸设置并将环状槽(11b)与节流孔(14)连通，且形成为相对于移动体(10)的移动方向中心线对称。

主权项

一种静压轴承装置，其构成为在固定体和移动体的滑动面之间设置轴承间隙，并向该轴承间隙供给加压气体，从而使上述移动体在上述固定体上浮起并能够移动，其特征在于，上述移动体具备：供给加压气体的主配管；节流孔，其设置于在滑动面呈开口的主配管的喷出口处，对加压气体进行整流；静压衰减器，其形成有与上述节流孔连通并将从上述节流孔喷出的加压气体分配供给到上述轴承间隙的通气槽，上述通气槽的构成包括：环状槽，其围绕上述节流孔形成为环状；多个分配槽，它们以上述节流孔为中心朝向上述环状槽以放射状延伸设置并将上述环状槽和上述节流孔连通，上述通气槽形成为相对于上述移动体的移动方向中心线对称，上述通气槽的宽度方向的截面形状形成朝向离开滑动面的方向突出的曲线。