[发明专利]基板电性的测量设备无效
| 申请号： | 201010292494.7 | 申请日： | 2010-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN102411099A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 邹永桐;刘定坤;王浩伟;詹智翔 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/28;G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板电性的测量设备。上述基板电性的测量设备包括一第一电光调制装置，设置于一第一检测滚轮外围。一待测基板，传输于多个传动滚轮之间，并与该第一电光调制装置接触。一电压供应装置，提供一电压差于该电光调制装置与该待测基板之间，以及一第一取像系统，接收由该待测基板的一第一面反射的一第一检测光。 | ||
| 搜索关键词： | 基板电性 测量 设备 | ||
【主权项】：
一种基板电性的测量设备，包括：第一电光调制装置，设置于一第一检测滚轮外围；待测基板，传输于多个传动滚轮之间，并与该第一电光调制装置接触；电压供应装置，提供一电压差于该第一电光调制装置与该待测基板之间；以及第一取像系统，接收由该待测基板的一第一面反射的一第一检测光。
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