[发明专利]中空状靶材组件有效
申请号: | 201010233668.2 | 申请日: | 2010-07-19 |
公开(公告)号: | CN102338598A | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 王子文;吴忠翰;赖冠廷 | 申请(专利权)人: | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
主分类号: | F41J1/01 | 分类号: | F41J1/01 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一中空状靶材组件,其包含一内衬管、一靶材体及多个弹性元件,该靶材体包含多个环状的中空靶材接续套设于内衬管外周面,通过中空靶材一端内侧壁形成沿轴向延伸的凹槽,与内衬管外管壁上相应的凹部,使得弹性元件同时紧抵于中空靶材的凹槽与内衬管凹部而定位,因此所述弹性元件使该靶材体与内衬管之间以简单、低成本的方式达到良好的密着。 | ||
搜索关键词: | 中空 状靶材 组件 | ||
【主权项】:
一种中空状靶材组件,其特征在于包含:一内衬管,其包含相对的一头端及一尾端,分别在接近头端与尾端的外管壁上形成凹部;一靶材体,其至少包含一第一中空靶材及一第二中空靶材,该第一中空靶材及第二中空靶材分别于其内管壁形成自其一端面沿轴向延伸的凹槽,所述凹槽在端面上形成一开口,第一中空靶材及第二中空靶材接续套设于该内衬管上,且其具凹槽的端面分别朝向内衬管头端及尾端,使第一中空靶材及第二中空靶材内管壁上的凹槽分别对应于内衬管头端与尾端外管壁上的凹部;以及多个弹性元件,其分别置设于第一中空靶材、第二中空靶材的凹槽与该内衬管相应的凹部中。
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